Artigo em revistaPublicado
Control and automation of an Opposing Magnetron RF Sputtering system to produce nanometric thin -lms
A. Mello; H. Sendão
20141 - 11
Dados da publicação
- Autores
- A. Mello; H. Sendão
- Tipo
- Artigo em revista
- Status
- Publicado
- Data de publicação
- 2014
- Revista
- Notas Técnicas do CBPF
- Volume
- 4
- Ano
- 2014
- Páginas
- 1 - 11
- DOI
- http://dx.doi.org/10.7437/NT2236-7640/2014.04.001
- Âmbito
- Nacional
- Indexada no Science Citation Index
- Não
- Vínculo com tese
- Não
- Vínculo com bolsa
- Não