--- title: "Características dos Filmes de Oxido de Zinco, Produzidos por Magnetron Sputtering Reativo DC, com Diferentes Pressões de Trabalho. • CBPF Index" description: "O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF." canonical_url: "https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbba62" locale: pt meta: "og:description": "O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF." "og:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_~Q2FyYWN0ZXLDrXN0aWNhcyBkb3MgRmlsbWVzIGRlIE94aWRvIGRlIFppbmNvLCBQcm9kdXppZG9zIHBvciBNYWduZXRyb24gU3B1dHRlcmluZyBSZWF0aXZvIERDLCBjb20gRGlmZXJlbnRlcyBQcmVzc8O1ZXMgZGUgVHJhYmFsaG8u%2Ctipo_~Tm90YSBkZSBGw61zaWNh%2Ccor_~I2E4MmMwMA%2Cautores_~TWFyY29zIGRlIENhc3RybyBDYXJ2YWxobzsgRS4gTS4gQi4gU2FpdG92aXRjaA%2Cdetalhe_~MDUvMDMvMjAxMg%2Csecao_~UHVibGljYcOnw7Vlcw%2Cp_Ii9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmJhNjIi%2Cs_BUKYYCgOKvehVMlJ.png" "og:image:height": "600" "og:image:type": image/png "og:image:width": "1200" "og:title": "Características dos Filmes de Oxido de Zinco, Produzidos por Magnetron Sputtering Reativo DC, com Diferentes Pressões de Trabalho. • CBPF Index" "twitter:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_~Q2FyYWN0ZXLDrXN0aWNhcyBkb3MgRmlsbWVzIGRlIE94aWRvIGRlIFppbmNvLCBQcm9kdXppZG9zIHBvciBNYWduZXRyb24gU3B1dHRlcmluZyBSZWF0aXZvIERDLCBjb20gRGlmZXJlbnRlcyBQcmVzc8O1ZXMgZGUgVHJhYmFsaG8u%2Ctipo_~Tm90YSBkZSBGw61zaWNh%2Ccor_~I2E4MmMwMA%2Cautores_~TWFyY29zIGRlIENhc3RybyBDYXJ2YWxobzsgRS4gTS4gQi4gU2FpdG92aXRjaA%2Cdetalhe_~MDUvMDMvMjAxMg%2Csecao_~UHVibGljYcOnw7Vlcw%2Cp_Ii9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmJhNjIi%2Cs_BUKYYCgOKvehVMlJ.png" --- > Index of every page on this site: [llms.txt](https://index.cbpf.br/llms.txt) **Nota de Física****Publicado** # **Características dos Filmes de Oxido de Zinco, Produzidos por Magnetron Sputtering Reativo DC, com Diferentes Pressões de Trabalho.** **Marcos de Castro Carvalho; E. M. B. Saitovitch** 05/03/2012 [**Baixar PDF **0,4 MB](https://index.cbpf.br/files/publicacao/6ad2a767639f62b11adbba62/pdf) [**Contatar responsável**](mailto:apub@cbpf.br?subject=Caracter%C3%ADsticas%20dos%20Filmes%20de%20Oxido%20de%20Zinco%2C%20Produzidos%20por%20Magnetron%20Sputtering%20Reativo%20DC%2C%20com%20Diferentes%20Press%C3%B5es%20de%20Trabalho.) ## **Dados da publicação**
Autores
Marcos de Castro Carvalho; E. M. B. Saitovitch
Tipo
Nota de Física
Status
Publicado
Data de publicação
05/03/2012
Descrição
Filmes finos de óxido de zinco foram depositados por magnetron sputtering dc em atmosfera reativa a partir do zinco metálico. Os substratos utilizados foram de vidro borosilicato a uma temperatura de 300 oC. A pressão parcial de oxigênio foi de 0,75 mtorr com a pressão de trabalho de 20 - 60 mtorr. Os efeitos de pressão de trabalho na estrutura dos filmes foram estudados sistematicamente através das propriedades ópticas e elétricas dos filmes. Os filmes produzidos foram policristalinas com orientação preferencial (002). A dependência da temperatura da mobilidade Hall indica que os espalhamentos nos contornos dos grãos dos portadores de cargas são predominantes nestes filmes. O filme depositado com a pressão de sputtering de 40 mtorr mostrou uma baixa resistividade elétrica de 8,0x10-2 Ω cm. A transmitância óptica é de 85% (=500 nm) com um “band gap” e 3.27 eV.
Ano
2012
Número
CBPF-NF-006/12
Vínculo com tese
Não
Vínculo com bolsa
Não
```json {"@context":"https://schema.org","@graph":[{"@id":"https://index.cbpf.br/#website","@type":"WebSite","description":"O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF.","inLanguage":"pt-BR","name":"CBPF Index","url":"https://index.cbpf.br/","publisher":{"@id":"https://index.cbpf.br/#identity"},"workTranslation":[{"@id":"https://index.cbpf.br/en#website"},{"@id":"https://index.cbpf.br/es#website"}]},{"@id":"https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbba62#webpage","@type":"WebPage","description":"O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF.","name":"Características dos Filmes de Oxido de Zinco, Produzidos por Magnetron Sputtering Reativo DC, com Diferentes Pressões de Trabalho.","url":"https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbba62","isPartOf":{"@id":"https://index.cbpf.br/#website"},"potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbba62"]}],"primaryImageOfPage":{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo"}},{"@id":"https://index.cbpf.br/#identity","@type":"Organization","alternateName":"CBPF","description":"Unidade de pesquisa do Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação dedicada à pesquisa básica em Física, suas aplicações e à formação científica.","email":"web@cbpf.br","legalName":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas/CBPF","name":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas","taxID":"04.044.443/0001-35","telephone":"+55-21-2141-7100","url":"https://cbpf.br","address":{"@type":"PostalAddress","streetAddress":"Rua Dr. Xavier Sigaud, 150","addressLocality":"Rio de Janeiro","addressRegion":"RJ","postalCode":"22290-180","addressCountry":"BR"},"logo":{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo"},"sameAs":["https://twitter.com/cbpf_mcti"]},{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo","@type":"ImageObject","caption":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas","contentUrl":"https://index.cbpf.br/icon-512x512-light.png","inLanguage":"pt-BR","url":"https://index.cbpf.br/icon-512x512-light.png"}]} ``` ## Sitemap See the full [sitemap](https://index.cbpf.br/sitemap.md) for all pages.