--- title: "Atomic Force Microscopy Investigation on the Effects of Annealing on Amorphous Carbon Nitride Films Deposited by rf-Magnetron Sputtering • CBPF Index" description: "O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF." canonical_url: "https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbb4c6" locale: pt meta: "og:description": "O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF." "og:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_Atomic%2BForce%2BMicroscopy%2BInvestigation%2Bon%2Bthe%2BEffects%2Bof%2BAnnealing%2Bon%2BAmorphous%2BCarbon%2BNitride%2BFilms%2BDeposited%2Bby%2Brf-Magnetron%2BSputtering%2Ctipo_~Tm90YSBkZSBGw61zaWNh%2Ccor_~I2E4MmMwMA%2Cautores_~Ui4gUHJpb2xpOyBTLkkuIFphbmV0dGU7IEFuaWJhbCBPbWFyIENhcmlkZTsgTS5NLiBMYWNlcmRhOyBGLiBMLiBGcmVpcmUgSnI%2Cdetalhe_1998%2Csecao_~UHVibGljYcOnw7Vlcw%2Cp_Ii9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmI0YzYi%2Cs_34gH7oR9nnSSkGn7.png" "og:image:height": "600" "og:image:type": image/png "og:image:width": "1200" "og:title": "Atomic Force Microscopy Investigation on the Effects of Annealing on Amorphous Carbon Nitride Films Deposited by rf-Magnetron Sputtering • CBPF Index" "twitter:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_Atomic%2BForce%2BMicroscopy%2BInvestigation%2Bon%2Bthe%2BEffects%2Bof%2BAnnealing%2Bon%2BAmorphous%2BCarbon%2BNitride%2BFilms%2BDeposited%2Bby%2Brf-Magnetron%2BSputtering%2Ctipo_~Tm90YSBkZSBGw61zaWNh%2Ccor_~I2E4MmMwMA%2Cautores_~Ui4gUHJpb2xpOyBTLkkuIFphbmV0dGU7IEFuaWJhbCBPbWFyIENhcmlkZTsgTS5NLiBMYWNlcmRhOyBGLiBMLiBGcmVpcmUgSnI%2Cdetalhe_1998%2Csecao_~UHVibGljYcOnw7Vlcw%2Cp_Ii9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmI0YzYi%2Cs_34gH7oR9nnSSkGn7.png" --- > Index of every page on this site: [llms.txt](https://index.cbpf.br/llms.txt) **Nota de Física****Publicado** # **Atomic Force Microscopy Investigation on the Effects of Annealing on Amorphous Carbon Nitride Films Deposited by rf-Magnetron Sputtering** **R. Prioli; S.I. Zanette; Anibal Omar Caride; M.M. Lacerda; F. L. Freire Jr** 1998 [**Baixar PDF **0,1 MB](https://index.cbpf.br/files/publicacao/6ad2a767639f62b11adbb4c6/pdf) [**Contatar responsável**](mailto:apub@cbpf.br?subject=Atomic%20Force%20Microscopy%20Investigation%20on%20the%20Effects%20of%20Annealing%20on%20Amorphous%20Carbon%20Nitride%20Films%20Deposited%20by%20rf-Magnetron%20Sputtering) ## **Dados da publicação**
Autores
R. Prioli; S.I. Zanette; Anibal Omar Caride; M.M. Lacerda; F. L. Freire Jr
Tipo
Nota de Física
Status
Publicado
Data de publicação
1998
Descrição
Atomic Force Microscopy was used to study the effects of thermal annealing on the surface topography and the tribological properties of amorphous carbon nitride thin films deposited by rf-magnetron sputtering. The results show that the surface roughness decreases with the increase of the annealing temperature. The friction coefficients at the interface between a <math>Si_3N_4\,\!</math> tip and the amorphous carbon nitride films surface decrease with increasing smoothness of the surface.
Ano
1998
Número
CBPF-NF-035/98
Vínculo com tese
Não
Vínculo com bolsa
Não
```json {"@context":"https://schema.org","@graph":[{"@id":"https://index.cbpf.br/#website","@type":"WebSite","description":"O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF.","inLanguage":"pt-BR","name":"CBPF Index","url":"https://index.cbpf.br/","publisher":{"@id":"https://index.cbpf.br/#identity"},"workTranslation":[{"@id":"https://index.cbpf.br/en#website"},{"@id":"https://index.cbpf.br/es#website"}]},{"@id":"https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbb4c6#webpage","@type":"WebPage","description":"O CBPF INDEX é o sistema de acompanhamento da produção científica e tecnológica do CBPF. Nele é possível obter a lista de publicações de artigos, livros, relatórios técnicos, etc de toda a comunidade do CBPF.","name":"Atomic Force Microscopy Investigation on the Effects of Annealing on Amorphous Carbon Nitride Films Deposited by rf-Magnetron Sputtering","url":"https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbb4c6","isPartOf":{"@id":"https://index.cbpf.br/#website"},"potentialAction":[{"@type":"ReadAction","target":["https://index.cbpf.br/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbb4c6"]}],"primaryImageOfPage":{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo"}},{"@id":"https://index.cbpf.br/#identity","@type":"Organization","alternateName":"CBPF","description":"Unidade de pesquisa do Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação dedicada à pesquisa básica em Física, suas aplicações e à formação científica.","email":"web@cbpf.br","legalName":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas/CBPF","name":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas","taxID":"04.044.443/0001-35","telephone":"+55-21-2141-7100","url":"https://cbpf.br","address":{"@type":"PostalAddress","streetAddress":"Rua Dr. Xavier Sigaud, 150","addressLocality":"Rio de Janeiro","addressRegion":"RJ","postalCode":"22290-180","addressCountry":"BR"},"logo":{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo"},"sameAs":["https://twitter.com/cbpf_mcti"]},{"@id":"https://index.cbpf.br/#logo","@type":"ImageObject","caption":"Centro Brasileiro de Pesquisas Físicas","contentUrl":"https://index.cbpf.br/icon-512x512-light.png","inLanguage":"pt-BR","url":"https://index.cbpf.br/icon-512x512-light.png"}]} ``` ## Sitemap See the full [sitemap](https://index.cbpf.br/sitemap.md) for all pages.