Congresso
2005 Spring Meeting - Material Research Society
Joice Terra, Donald E. Ellis, Z. Hong, L. Luan, Rossi, A.M., A. Mello, Jean-Guillaume Eon, J. Ketterson
2005
Resumo
We have produced hydroxyapatite (HA) thin films on fused silica using R.F. magnetron sputtering from two facing targets in a right angle geometry. This design greatly reduces negative-ion resputtering effects caused by oxyanions, and thus preserves the stoichiometry by the targets. We study both a
Dados do evento
- Tipo de evento
- Congresso
- Ano
- 2005
- Participação
- Não
- Apresentação
- Apresentação oral
- Título do trabalho
- Hydroyapatite Thin Films Produced by Radio Frequency Magnetrom Sputtering from Two facing Targets
- Agências de fomento
- —
- Colaboradores
- Joice Terra, Donald E. Ellis, Z. Hong, L. Luan, Rossi, A.M., A. Mello, Jean-Guillaume Eon, J. Ketterson