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title: "Control and automation of an Opposing Magnetron RF Sputtering system to produce nanometric thin -lms • CBPF Index"
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**Artículo en revista****Publicado**

# **Control and automation of an Opposing Magnetron RF Sputtering system to produce nanometric thin -lms**

**A. Mello; H. Sendão**

20141 - 11

[**Contactar al responsable**](mailto:denise@cbpf.br?subject=Control%20and%20automation%20of%20an%20Opposing%20Magnetron%20RF%20Sputtering%20system%20to%20produce%20nanometric%20thin%20-lms)

## **Datos de la publicación**

<dl>

<dt>Autores</dt>
<dd>A. Mello; H. Sendão</dd>

<dt>Tipo</dt>
<dd>Artículo en revista</dd>

<dt>Estado</dt>
<dd>Publicado</dd>

<dt>Fecha de publicación</dt>
<dd>2014</dd>

<dt>Revista</dt>
<dd>Notas Técnicas do CBPF</dd>

<dt>Volumen</dt>
<dd>4</dd>

<dt>Año</dt>
<dd>2014</dd>

<dt>Páginas</dt>
<dd>1 - 11</dd>

<dt>DOI</dt>
<dd>http://dx.doi.org/10.7437/NT2236-7640/2014.04.001</dd>

<dt>Ámbito</dt>
<dd>Nacional</dd>

<dt>Indexada en el Science Citation Index</dt>
<dd>No</dd>

<dt>Vínculo con tesis</dt>
<dd>No</dd>

<dt>Vínculo con beca</dt>
<dd>No</dd>

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