Artículo en revistaPublicado
Control and automation of an Opposing Magnetron RF Sputtering system to produce nanometric thin -lms
A. Mello; H. Sendão
20141 - 11
Datos de la publicación
- Autores
- A. Mello; H. Sendão
- Tipo
- Artículo en revista
- Estado
- Publicado
- Fecha de publicación
- 2014
- Revista
- Notas Técnicas do CBPF
- Volumen
- 4
- Año
- 2014
- Páginas
- 1 - 11
- DOI
- http://dx.doi.org/10.7437/NT2236-7640/2014.04.001
- Ámbito
- Nacional
- Indexada en el Science Citation Index
- No
- Vínculo con tesis
- No
- Vínculo con beca
- No