Saltar al contenido
Artículo en revistaPublicado

Design and Characterization of an RF Plasma Cleaner

Canal, Gustavo Paganini; Hugo de Luna; L.F. Ruchko

108 - 114

Datos de la publicación

Autores
Canal, Gustavo Paganini; Hugo de Luna; L.F. Ruchko
Tipo
Artículo en revista
Estado
Publicado
Fecha de publicación
11/03/2010
Revista
Brazilian Journal of Physics
Volumen
40
Año
2010
Páginas
108 - 114
Ámbito
Nacional
Indexada en el Science Citation Index
Sí
Vínculo con tesis
Maestría
Vínculo con beca
CAPES
© 2004–2026 Centro Brasileño de Investigaciones Físicas · Desarrollado por COTEC · v2.0.13