--- title: "Fabricação de Lamela no Microscópio de Íons Focalizados. Artefatos e Medidas de Espessura • CBPF Index" description: "CBPF INDEX is the system that tracks the scientific and technological output of CBPF. It lists the articles, books, technical reports and other publications of the whole CBPF community." canonical_url: "https://index.cbpf.br/en/publicacoes/6ad2a767639f62b11adbcfe5" locale: en meta: "og:description": "CBPF INDEX is the system that tracks the scientific and technological output of CBPF. It lists the articles, books, technical reports and other publications of the whole CBPF community." "og:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_~RmFicmljYcOnw6NvIGRlIExhbWVsYSBubyBNaWNyb3Njw7NwaW8gZGUgw41vbnMgRm9jYWxpemFkb3MuIEFydGVmYXRvcyBlIE1lZGlkYXMgZGUgRXNwZXNzdXJh%2Ctipo_Master's%2Bdissertation%2Ccor_~IzdhM2E5OQ%2Cautores_Fabio%2BZuim%2Cdetalhe_~MjYvMDkvMjAxNw%2Csecao_Publications%2Cp_Ii9lbi9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmNmZTUi%2Cs_4uyd5VIEX5MLH45e.png" "og:image:height": "600" "og:image:type": image/png "og:image:width": "1200" "og:title": "Fabricação de Lamela no Microscópio de Íons Focalizados. Artefatos e Medidas de Espessura • CBPF Index" "twitter:image": "https://index.cbpf.br/_og/d/c_Item%2Ctitulo_~RmFicmljYcOnw6NvIGRlIExhbWVsYSBubyBNaWNyb3Njw7NwaW8gZGUgw41vbnMgRm9jYWxpemFkb3MuIEFydGVmYXRvcyBlIE1lZGlkYXMgZGUgRXNwZXNzdXJh%2Ctipo_Master's%2Bdissertation%2Ccor_~IzdhM2E5OQ%2Cautores_Fabio%2BZuim%2Cdetalhe_~MjYvMDkvMjAxNw%2Csecao_Publications%2Cp_Ii9lbi9wdWJsaWNhY29lcy82YWQyYTc2NzYzOWY2MmIxMWFkYmNmZTUi%2Cs_4uyd5VIEX5MLH45e.png" --- > Index of every page on this site: [llms.txt](https://index.cbpf.br/llms.txt) **Master's dissertation****Defended** # **Fabricação de Lamela no Microscópio de Íons Focalizados. Artefatos e Medidas de Espessura** **Fabio Zuim** 09/26/2017 [**Download PDF **3.1 MB](https://index.cbpf.br/files/publicacao/6ad2a767639f62b11adbcfe5/pdf) [**Contact owner**](mailto:biblioteca@cbpf.br?subject=Fabrica%C3%A7%C3%A3o%20de%20Lamela%20no%20Microsc%C3%B3pio%20de%20%C3%8Dons%20Focalizados.%20Artefatos%20e%20Medidas%20de%20Espessura) ## **Abstract** O FIB ou Dual-Beam com feixes de gálio e elétrons é um equipamento versátil com muitas possibilidades de caracterização e fabricação de materiais da escala micrométrica à nanométrica. Contudo, artefatos produzidos durante os processos de caracterização e fabricação podem ocorrer, e consequentemente, modificar a estrutura e as propriedades dos materiais. Neste sentido, faz-se necessário investigar as propriedades do feixe de íons e sua interação com a matéria. O presente trabalho foi dividido em duas partes, a primeira teve como objetivo analisar diferentes parâmetros do feixe de íons, como energia, corrente e ângulo de convergência do feixe no microscópio Tescan-Lyra 3e seus efeitos na amostra. O formato do feixe e a interação com a amostra foi avaliado usando experimentos de desfocalização e tomografia de elétrons de regiões previamente expostas ao feixe. A segunda parte da dissertação teve como objetivo caracterizar no Microscópio Eletrônico de Transmissão lamelas fabricadas no FIB. Artefatos, contaminação e espessura de três amostras de filmes finos de fosfato de cálcio foram investigadas. Os resultados da primeira parte mostraram que o feixe de menor energia apresentou maior variação de tamanho em função da desfocalização. A contaminação de gálio e platina (utilizados durante a preparação da amostra) foi avaliada após polimento das amostras realizado com o feixe de íons. Os resultados mostraram que feixes de íons gálio com a mesma energia porém com correntes menores geram menor contaminação. Os resultados da segunda parte da dissertação revelaram que as lamelas possuíam diferentes espessuras. A espessura final assim como os detalhes estruturais das lamelas tiveram relação com as etapas de preparação. As lamelas apresentaram uma maior quantidade de gálio próximo à platina. A platina presente na parte superior da lamela não foi detectada no filme ou no substrato, apenas na parte inferior da lamela. Os dados adquiridos nesta dissertação foram discutidos e relacionados com as técnicas de preparação de amostras disponíveis no equipamento e serão utilizados para adaptar os protocolos de preparação existentes de modo a minimizar os problemas nas preparações. ## **Publication details**
Authors
Fabio Zuim
Type
Master's dissertation
Status
Defended
Publication date
26/09/2017
Institution
CBPF
Defense date
26/09/2017
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